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产品详情
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  • 产品型号:Quantus LP100
  • 产品厂商:INFICON
  • 产品文档:
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简单介绍:
INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以*大限度地减少报废,提高产出。
详情介绍:

Quantus LP100 气体分析仪 

 

实时终点检测和检漏

INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以*大限度地减少报废,提高产出。


功能

  • 方便的现场可更换等离子单元
  • 使用标准 KF25 连接方便地安装
  • 更低的维护成本
  • 低至 ppm 级的出色检测下限
  • 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
  • 长期可靠性:无需泵
  • 低拥有成本
  • 快速的 10 Hz 采样频率
  • 精致小巧(高 x 宽 x 长)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
  • 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持



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